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这zhè种zhǒng材cái料liào适shì合hé用yòng溅jiàn射shè法fǎ制zhì备bèi薄báo膜mó。
この材料はスパッタリング法による薄膜の作製に適している。
固体の表面から原子をたたき出し、向かいの基板へ移して膜を作る仕組み
用yòng离lí子zi轰hōng击jī靶bǎ材cái，把bǎ靶bǎ材cái表biǎo面miàn的de原yuán子zi或huò分fèn子zǐ打dǎ出chū并bìng沉chén积jī到dào基jī片piàn上shàng，从cóng而ér形xíng成chéng薄báo膜mó的de方fāng法fǎ
溅射は、「溅」が物質の飛び散りを、「射」が一定の方向へ放つ動きを表し、二字を合わせて表面の物質を外へ飛ばす現象を示す語
