コアイメージ
基板上で基板の結晶方位に合わせて秩序正しく薄膜を成長させる外延成長
英英
The growth of a crystalline layer on a crystalline substrate in which the layer adopts and follows the substrate's crystallographic orientation.
語源
epitaxyは、ギリシャ語のepi(上に)とtaxis(配列)に由来し、基板の上に秩序ある配列で層が形成されることを表す。
コラム
- 半導体分野ではmolecular beam epitaxy(分子線外延)やMOCVDなどの手法名とともに用いられ、カタカナのエピタキシー表記も多く見られる。
「配向成長」のレベル別の例文
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