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ピンインguāng kè jī
先xiān进jìn的de光guāng刻kè机jī能néng提tí高gāo芯xīn片piàn生shēng产chǎn效xiào率lǜ。
先進的な光刻装置はチップの生産効率を高められる。
光のパターンでチップの回路をウエハー上に一層ずつ形にする装置
一yì种zhǒng利lì用yòng光guāng线xiàn在zài晶jīng圆yuán上shàng形xíng成chéng微wēi小xiǎo电diàn路lù图tú形xíng的de设shè备bèi,常cháng用yòng于yú芯xīn片piàn生shēng产chǎn。
光刻机は、「光」と「刻」を組み合わせた「光刻」に、機械を表す「机」を加えた語で、「光刻」は光によって感光材料に微細な図形を作る技術を指す。