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ピンインguāng kè jiāo
工gōng作zuò人rén员yuán将jiāng光guāng刻kè胶jiāo均jūn匀yún地dì涂tú在zài硅guī片piàn表biǎo面miàn。
フォトレジストをシリコンウエハーの表面に均一に塗布する。
光で溶けやすさが変わる薄い膜として、基板の表面に細かな形を残す材料
一yì种zhǒng涂tú在zài硅guī片piàn等děng基jī片piàn表biǎo面miàn、受shòu光guāng后hòu溶róng解jiě性xìng发fā生shēng变biàn化huà并bìng可kě通tōng过guò显xiǎn影yǐng形xíng成chéng微wēi小xiǎo图tú形xíng的de感gǎn光guāng性xìng树shù脂zhī
光刻胶は、光を使って模様を転写する工程を表す「光刻」と、樹脂など膜を作る材料を表す「胶」を組み合わせた語で、光に反応する樹脂を指す