「épitaxie」のコアイメージコアイメージ
土台となる結晶の並びに沿って、上に新しい結晶の層を育てる仕組み
「épitaxie」のフランス語での定義フランス語での定義
Procédé qui consiste à faire croître une couche cristalline sur un substrat en respectant l'orientation de ses cristaux.
「épitaxie」の語源語源
épitaxieは、ギリシャ語のἐπί「上に」とτάξις「配置」に由来し、結晶を土台の上に配置する成長を表す語
「épitaxie」のコラムコラム
- 半導体では、シリコンなどの薄い結晶層を土台の結晶方位にそろえて作る工程を指し、チップの性能を左右する材料技術に関わる語