トリクロロシラン
意味
- 中性名詞 トリクロロシラン
- 名 三塩化シラン
例文
Trichlorsilan ist eine farblose Flüssigkeit.
トリクロロシランは無色の液体である。
コアイメージ
1個のケイ素原子に3個の塩素原子と1個の水素原子が結びついた、反応性の高い液体
ドイツ語での定義
Eine farblose, sehr reaktive Flüssigkeit aus der Gruppe der Silane mit einem Siliziumatom, einem Wasserstoffatom und drei Chloratomen.
語源
Trichlorsilanは、Trichlor-が塩素3個、Silanがケイ素と水素からなる化合物群を示す合成語
コラム
- 半導体製造では、高純度シリコンを作る原料として、加熱した棒に分解・付着させる工程に使われる
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